PuMAPHOTOCONDUCTANCE MULTISCAN SYSTEM FOR ADVANCED SUBSTRATE (PUMA) |
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Financement |
WIN²WAL |
Dates début et fin |
2020-2022 |
Partenariat |
Incize |
Equipe de recherche |
ELECTRONIQUE
Promoteur : Valery Broun Renseignements : valery.broun@hepl.be |
Objet et objectifs
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L’objectif de ce projet est de proposer une technique de caractérisation sans contact rapide et efficace des phénomènes électriques présents à la surface des substrats semi-conducteurs pour atteindre les exigences très strictes des technologies de demain (5G, IoT …) La photoconductance permet de caractériser le temps de vie des porteurs de charges générés par la lumière. Comme le paramètre de temps de vie des porteurs est lié aux propriétés électriques du substrat, il est possible de les déduire par cette technique et par modélisation des phénomènes physiques. Les solutions commerciales existantes ont une sensibilité trop faible pour les substrats destinés aux applications RF et mesurent sur une grande partie de l’épaisseur du substrat. L’impact des phénomènes d’intérêt, localisés à la surface, sont noyés dans la mesure. L’objectif est donc de réaliser un démonstrateur technologique qui permet de caractériser les semiconducteurs en palliant aux deux inconvénients précédents. |